真空泵浦是製程設備與真空系統的核心，一旦出現真空度不足、抽氣效率下降、漏油、異音、震動、過熱或啟動異常，就可能影響設備稼動率與製程穩定性。許多客戶在發現真空異常時，第一時間會以為泵浦已經損壞，但實際原因可能來自油封、軸承、密封件、轉子磨耗、內部污染、冷卻條件或系統端漏氣。
碩彥企業提供歐、美、日、台各大廠牌油式、乾式、魯式、冷凍及渦捲式真空泵浦維修保養服務，可依泵浦品牌、型號、使用製程與故障狀況，協助進行檢測、拆解、清洗、零件更換、組裝與測試。官網維修頁也明確列出可提供多類型真空泵浦保養與維修服務。
真空幫浦 Vacuum Pump
提供歐、美、日、台各大廠牌油式、乾式、魯式、冷凍及渦捲式泵浦保養和維修服務
- HANBELL漢鐘真空泵浦：
- PS系列 / PD系列 / PX系列 / PZ系列–全系列Dry Pump
- LEYBOLD萊寶真空泵浦：
- SP630 / SV系列 / D25B / D40B-BCS / D65B-BCS / WS-WSU/A系列
- EDWARDS愛德華真空泵浦：
- E2M系列 / EH系列 / GV Dry / GXS Dry / IH-IXH Dry
- EBARA真空泵浦：
- 全系列Dry pump
- ALCATEL (PFEIFFER)：
- Rotary & Roots / ADP122 / ADS602 Dry Pump / ACP15、28、40
- ULVAC真空泵浦：
- ROOTS PMB系列 / Rotary VS系列 / LR Dry
- 其他維修廠牌：
- BUSCH / PFEIFFER / BECKER / STOKES / IWATA / ANELVA / TAIKO…
Cryo Pump
- CTI：
- Torr10 / Torr400 / Onboard 8F / Onboard IS-8F
- ULVAC：
- U8 / U12 / U16 / U22
Turbo pump
- LEYBOLD :
- MAG1600 / MAG W1600iPL / MAG2000 / TMP361 / T1600 / VAC 35LS / VAC50 / VAC361 / VAC151
- ALCATEL/PFEIFFER :
- HiPace 80 / Hipace1200 / ATP80 / ATP100 / ATH1600
- OSAKA :
- TG50FVAB / TG350 / TG2300M
- EDWARDS :
- STP451 / EXT 75DX 24V / EXT255H / EXT255H 80v dc
- VARIAN :
- V1KG / V2KG / V3KG / V250 / V300HT
- ULVAC :
- VUGP150 / 3303FHA
DC/RF POWER
各式電漿電源供應器、射頻電漿電源生產器、直流電漿電源生產器、功率匹配器、製程氣體生產器、微電波電漿生產器等
- AE：
- Advance Energy Industries
- DC Power Supply：
- MDX Series / MDX-L Series / Sparc Series / Starburst / Pinnacle Series / Pinnacle II Series / Pinnacle Plus Series / E-Chuck Power
- Matching Network：
- ATX Series Tuner / AZX Series / Tuner / Vario Match / Trumpf / Huttinger
- ADL：
- GmbH
Helium Leak Detector 測漏儀
提供以下維修服務及測漏 :
- LEYBOLD:
- PHOENIX300 / UL200+
- EDWARDS:
- ELD500
- INFICON:
- UL1000
- ALCATEL/PFEIFFER:
- ASM142 / ASM180+ / ASM340 / 182TD+ / 192TD+ / HLT260
- ULVAC:
- HELIOT 301 / HELIOT 700
- ANELVA:
- M222LD
Vacuum Gauges
提供以下品牌 :
- LEYBOLD :
- TTR91/PTR90/CTR100/ITR90/TR211/PR25
- EDWARDS :
- APG100/AIM/PRG20/CPG35
- INFICON :
- IKR251/PKR251/PSG500
- ALCATEL :
- TTR91/ITR90/PTR91/PTR225
- ANELVA :
- M-350PG/M-336MX
您是否遇到以下問題？
- 真空度一直抽不上去
- 抽氣時間變長
- 泵浦出現異音或震動
- 泵浦漏油、油量下降
- 泵浦溫度過高
- 設備反覆跳警報
- 製程污染造成泵浦內部髒污
- 原廠維修交期過長
- 需要備機支援避免產線停機
- 碩彥服務說法
碩彥不只是替換零件，而是從設備使用條件、故障現象、泵浦內部狀況與系統環境一起判斷。若泵浦仍具維修價值，可進行拆解、清洗、耗材更換與測試；若泵浦狀況不適合維修，也可協助評估中古泵浦、替代機或備機方案。
維修流程
- 提供泵浦品牌、型號與故障狀況
- 初步確認設備用途與異常現象
- 收件檢測或現場狀況判斷
- 拆解檢查磨耗、污染與密封狀況
- 提供維修方向與報價
- 清洗、零件更換、組裝與測試
- 完成後提供保養與備品建議