He氦氣測漏與洩漏檢測
真空系統若出現真空度不足、抽氣時間變長、壓力無法穩定或製程參數異常，常見原因之一就是系統洩漏。漏點可能出現在腔體、管路、法蘭、O-ring、焊道、閥件、儀表接口或設備組裝處。若未先確認漏點，就直接維修或更換泵浦，可能無法真正解決問題。
He 氦氣測漏因氦氣穩定且不易受其他氣體干擾，常用於真空系統腔體與管路漏點檢測；He 測漏可在短時間內完成真空系統腔體與管路漏點檢測。 Leybold、Edwards、INFICON、Pfeiffer、ULVAC 等多品牌氦氣測漏儀皆有維修服務。
什麼情況需要 He 氦氣測漏？
- 真空度無法達標
- 抽氣時間變長
- 系統保壓不良
- 系統保壓不良
- 更換零件後壓力仍不穩
- 腔體或管路曾拆裝
- 焊接或配管後需確認漏點
- 製程設備異常但泵浦檢測正常
- 高真空系統需要確認密封完整性
常見漏點位置
- 真空腔體
- 法蘭接合處
- O-ring / 密封件
- 真空管路
- 焊道
- 閥件
- Gauge 接口
- MFC / 配管接口
- 腔體門片與觀察窗
詢價前建議準備
- 需要測漏的設備或系統名稱
- 腔體、管路或零件照片
- 目前真空度狀況
- 抽氣時間與壓力變化
- 是否近期有拆裝、維修或配管
- 可能漏點位置
- 是否需到廠測漏或設備送修
- 聯絡窗口與時程需求
He 氦氣測漏可搭配的服務
- 真空系統漏點檢查
- 測漏儀維修
- 測漏儀買賣
- 真空系統維修
- 管路與密封件確認
- 泵浦故障排除
- 設備重新組裝後檢測