半導體與高科技真空應用
支援製程穩定與設備稼動率

半導體與高科技真空應用

半導體與高科技製程對真空系統穩定度要求高,任何泵浦效率下降、系統洩漏、壓力波動或設備保養延誤,都可能影響製程結果與設備稼動率。從晶圓製程、光電面板、FPD、PCB、鋰電池到自動化檢測設備,真空相關設備的維修、測漏與備品管理都需要更高的專業判斷。

AOI 檢測設備業務已應用於半導體、光學、FPD 平面顯示器、印刷電路板、隱形眼鏡與鋰電池等相關產業。碩彥可提供真空設備維修與高科技製程應用內容整合成更清楚的產業解決方案。

高科技製程常見真空需求

  • 製程腔體抽真空
  • 乾燥與除濕製程
  • 鍍膜與表面處理
  • 真空量測與控制
  • 氣體流量控制
  • 製程尾氣與泵浦保養
  • 製程設備漏點檢查
  • 設備定期維護與備品管理

常見服務內容

  • 乾式真空泵浦維修
  • 真空泵浦保養合約
  • He 氦氣測漏
  • Gauge / MFC / Chiller 支援
  • DC / RF Power 維修
  • 中古 PUMP 備機
  • 真空系統零件供應
  • 清洗、噴砂與設備保養

詢價前建議準備

  • 製程或設備類型
  • 真空泵浦品牌與型號
  • 系統異常狀況
  • 真空度或壓力變化
  • 是否有停機壓力
  • 是否需要備機
  • 是否需測漏或清洗
  • 預計維修或保養時程

適合產業

  • 半導體
  • 光電 / FPD
  • PCB
  • 鋰電池
  • 光學
  • 自動化設備
  • 高科技製造
  • 研發與實驗單位