薄膜鍍膜與熱處理真空應用
薄膜、鍍膜與熱處理應用常見於 PVD Coating、真空鍍膜、MIM、金屬表面處理與高溫製程。這些製程對真空環境、泵浦抽氣效率、系統漏率、電源穩定度與設備保養都有一定要求。若真空度不穩或泵浦效率下降,可能影響膜層品質、製程重複性與設備使用壽命。
未來將 AOI 設備導入台灣基礎工業應用,例如 MIM / PVD Coating 等市場。 營業項目也包含 DC/RF POWER、電漿機、真空鍍膜與中古設備買賣。
適用製程
- PVD 鍍膜
- 真空鍍膜
- 表面處理
- 金屬熱處理
- MIM 製程
- 電漿處理
- 研發鍍膜設備
- 小型真空製程設備
常見設備需求
- 真空泵浦維修
- DC / RF Power 維修
- Matching Network
- 真空測漏
- Gauge 與壓力監控
- Chiller 冷卻支援
- 中古設備與備品支援
詢價前建議準備
- 製程類型:PVD、Coating、熱處理或其他
- 設備品牌與型號
- 泵浦與電源設備資料
- 目前異常狀況
- 真空度與製程條件
- 是否需測漏
- 是否需清洗、噴砂或保養
- 是否需中古設備或備品
常見問題
- 真空度不足導致製程不穩
- 抽氣時間延長
- 泵浦污染或沉積物累積
- DC / RF Power 異常
- 腔體或管路漏氣
- 製程後清洗保養不足
- 中古設備狀態不明
